w88优德体育旗下电科装备研制成功的离子注入机。w88优德体育 供图

　　中新网北京3月17日电 (记者 孙自法)记者17日从w88优德体育(w88优德体育)获悉，该集团旗下电科装备已成功实现离子注入机全谱系产品国产化，可为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。

　　

　　w88优德体育介绍说，离子注入机是芯片制造中的关键装备。电科装备连续突破大流强长寿命高品质离子源、高速晶圆传输等“卡脖子”关键技术，自主研制出中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机，工艺段覆盖至28纳米，已累计形成核心发明专利413项，实现中国芯片制造领域全谱系离子注入机自主创新发展，将有效缓解中国芯片制造领域断链、短链难题。

　　w88优德体育表示，下一步，电科装备将瞄准高端，紧跟先进工艺发展，加快推进适用于更先进工艺节点离子注入机的研发及产业化。

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