近日，由电科装备烁科精微自主研发的300mm CMP设备Skylens机台顺利发往客户，该设备荣获“集团公司2020年度十大科技进展”奖，也是公司面向国家战略需求，打造全生态CMP研发产业化平台最为关键的一步。

　　

　　看着设备渐渐驶出大门，烁科精微总经理李婷来不及庆祝便匆忙赶往机场，搭上最早抵达客户现场的飞机，去进行工艺调试。

　　迎难而上 始终奋战一线

　　阴晴冷暖、夏蝉冬雪、晨暮交替的时光片段中，都是李婷忙碌的身影。

　　首台200mm CMP设备推入生产线验证之初，正是李婷身怀六甲之时，然而她不顾特殊时期的身体不适，一头扎进马拉松实验现场，与工艺工程师们一同分析工艺数据，与机械、软件同事一同开会讨论新结构、新功能，始终坚持与员工并肩奋斗，站在设备研发调试的最前线！白天技术会议不断，往往等到口渴难耐时，已是深夜。

　　北京冬天的凌晨很冷，但是目标和理想是热忱的。

　　“那个时候家人很担心我的身体，毕竟月份已经很大了，医生也要求我不能熬夜和过于忙碌，但是没办法，产线验证正在关键时期，倾注了上级领导及全体同事心血的项目必须完美完成，任务重、时间节点紧，咬咬牙得挺住。”李婷云淡风轻地讲述着那段过往。

　　收获回报 不忘初心踏征程

　　值得欣喜的是，努力没有白费，付出终得回报，首次产线验证非常成功，备受客户认可！如今200mm CMP设备已获得多家国内龙头晶圆代工厂的重复订单，并进入了国际采购清单，被芯片制造知名企业评为唯一国外产品替代率100%的国产设备。

　　但李婷并没有停止奋斗的步伐，她向着300mm CMP设备研发的征程继续奋进。

　　经过不懈奋斗，300mm CMP设备日前已顺利发往客户，这是高端集成电路装备国产化的重要一步。作为技术专家出身的李婷，依托深厚的技术背景和行业经验，将继续带领团队肩负起300mm CMP设备产业化的重任。

　　“空中飞人” 女儿心中的“加班狂”

　　近两年来，李婷的足迹已踏遍天南海北，哪里有需求，哪里就有李婷的身影。

　　“有段时间跑上海客户，我总是早上搭最早的航班去上海，晚上再搭当日最晚的航班回北京，有一次下飞机后突然很恍惚，分不清自己是在北京还是上海，也分不清是早晨还是深夜了。”

　　“记得女儿刚学会说话的时候，有一次我逗她说‘小姑娘最喜欢喝奶奶’，女儿回说‘妈妈最喜欢上班班’，听完的一刹，我很愧疚，女儿她那么小，那么需要母亲的陪伴，但是我却常常只能趁她熟睡时狠心离去。”

　　说着说着，李婷别过头擦了擦眼角的泪。

　　“作为总经理，公司的很多决策性工作也需要我，所以在见客户的空隙，我见缝插针，处理公司事务，只有飞机上必须飞行模式的时候才能稍作休息，但是飞机一落地就会发现有很多条微信和邮件待阅，忙是真的忙，但是想到自己做的事是对国家、民族有贡献的，就觉得再辛苦也值得。”李婷笑容腼腆，目光坚定。

　　高端集成电路装备国产替代征途漫漫，任重而道远。有无数个寂静的夜晚，大家总能看到一束光、一盏灯、一个人，她有着使不完的劲儿，默默坚守心中的信仰，感召着电科装备烁科精微的同仁们奋勇向前，砥砺前行！